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Single substrate processing sputtering

枚葉式スパッタ装置

商品コード
1493102690-247178
メーカー
アルバック
型式
SMD-650C
年式
1997
ワークサイズ
サイズ
仕様
550×670×0.7、1.1(mm)

※本装置は、ガラス基板にITO膜を作成するための
枚葉式スパッタ装置です。

※ITO-ITO-ITO