连接国外先进系统和客户需求的工程技术

为了将在欧美各国获得好评的薄膜相关设备提供给日本国内客户,我们把培养该类工程师作为重要任务。
不仅是单纯的设备进口出售,还包括从样机的性能评价到装机后的后期服务,以及改造提高生产效率的对应,这就是Hightec Systems的先进系统业务。

先进系统业务

销售全球标准的纳米技术和3次元加工应用的
Veeco/CNT公司、scia Systems公司及ANNEALSYS公司的先进技术设备。

Veeco/CNT(U.S.A)

Veeco/CNT(U.S.A)

  薄膜成型 退火 修正 产品名称 型号
量产/R&D     Savannah G2 加热型ALD
R&D     Fiji G2 等离子/加热型ALD
量产     Phoenix G2 批量式ALD

Veeco/CNT公司在美国Veeco公司的ALD(Atomic Layer Deposition)业务部门进行先进的ALD(原子层堆积)技术开发,
是最被全球的研究机构、大学、企业所广泛运用的开发用及量产试用的ALD设备制造商。并且量产用ALD设备和大面积基板ALD设备也已有成功投入市场的经验,可根据客户需求对应。

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scia Systems (Germany)

scia Systems (Germany)

  薄膜成型 退火 修正 产品名称 型号
量产     scia Trim 200 离子束修正
量产     scia Mill 150 离子束蚀刻·修正
量产     scia Magna 200 双环磁控DC脉冲溅射
量产     scia Coat 200 双离子束溅射

独scia Systems GmbH公司面向微电子、MEMS及光学系,提供研究开发和制造设备用的最先进离子束和离子工艺设备,提供拥有强大技术支持和极具信赖的制造设备。工艺设备的设计既灵活又模组化,可对应适用于标准基板尺寸的platform。因此可以根据客户需求提供cluster化或in-line的工艺炉方案。

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ANNEALSYS (France)

ANNEALSYS (France)

  薄膜成型 退火 产品名称 型号
R&D   AS-Micro 快速热处理(RTP)
R&D/小批量   AS-One 快速热处理(RTP)
量产   AS-Premium 快速热处理(RTP)
量产   AS-Master 快速热处理(RTP)
量产   Zenith 100 高速熱処理(RTP)
R&D MC-050 DLI-CVD and DLI-ALD
量产   MC-100 DLI-CVD and DLI-ALD
量产   MC-200 DLI-CVD and DLI-ALD

ANNEALSYS公司在RTA、RTP、液体原料CVD等的热处理设备上极具特色。出色的加热均一性可实现快速正确的温度控制,最大可以对应200mm的热处理。非常适合GaN、GaAs等化合物半导体的热处理,被世界上所广泛使用。并且除了上述记载型号以外,也可以提供用于SiC的热处理设备和ALD设备等多种型号的产品。

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业务流程

  • 检讨式样
  • 样品测试
  • 订购/制作
  • 出货前检查
  • 出货/进口
  • 搬入/装机
  • 条件设定
  • 培训
  • 验收

关于我们

特点

  • 充实的成膜服务
  • 充实的支持体制
  • 经验丰富的日本工程师

客户

引进后的后期服务

备件提供/式样订制
由日本国内工程师提供支持服务

  • 与国外制造商协同支持
  • 装机支持
  • 在线支持(远程连接)
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