해외의 첨단 시스템과 고객님의
요구를 연결하는 엔지니어링 기술

구미 각국에서 높은 평가를 받고 있는 박막 관련 장비을 국내 고객님에게 공급하는데있어서 장비기술제공하는 엔지니어의 성장을 소중히하고 있습니다.
또한 장비의 수입 판매뿐만 아니라, 데모기에 의한 성능평가로부터 설치후 애프터서포트는 물론 생산력 향상을위한 개조까지 지원하고 있습니다. 상기내용이 하이텍 시스템즈의 첨단 시스템 사업입니다.

첨단 시스템 사업

나노 기술과 3 차원 가공 응용 프로그램의 글로벌 스탠더드,
Veeco/CNT 사, scia Systems 사와 ANNEALSYS 사의 첨단 기술 장비를 판매하고 있습니다.

Veeco/CNT(U.S.A)

Veeco/CNT(U.S.A)

  薄膜形成 アニール トリミング 製品名 型式
量産/R&D     Savannah G2 サーマル式ALD
R&D     Fiji G2 プラズマ/サーマル
式ALD
量産     Phoenix G2 バッチ式ALD

Veeco/CNT 사는 미국 Veeco 사의 ALD (Atomic Layer Deposition) 사업 부문에서 첨단 ALD (원자 층 증착) 기술 개발을 통해 세계 연구기관, 대학, 기업에서 가장 많이 사용되는 개발, 양산 시작용 ALD 장비 제조 메이커입니다. 양산용 ALD 장비, 대 면적기판 ALD 장비도 시장에서 실적이있어, 요청에 대응하고 있습니다.

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scia Systems (Germany)

scia Systems (Germany)

  薄膜形成 アニール トリミング 製品名 型式
量産     scia Trim 200 イオンビームトリミング
量産     scia Mill 150 イオンビームエッチング・
ミリング
量産     scia Magna 200 ダブルリングマグネトロン
DCパルス式スパッタ
量産     scia Coat 200 デュアルイオンビームスパ
ッタ

独 scia Systems GmbH (스키 아 시스템즈)는 마이크로 일렉트로닉스, MEMS 및 광학계에 적합한 연구개발 제조 장치에 대한 최첨단 이온빔과 플라즈마 공정장비, 높은 기술지원과 극도로 안정적인 제조장치를 제공합니다. 프로세스장비는 표준 기판사이즈에 적응한 플랫폼에 대응하고 플렉시블 모듈화한 디자인으로 되여있습니다. 그러므로 다양한 프로세스챔버를 고객님의 요구에따라 클러스터와 인라인솔루션으로 제안 가능합니다.

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ANNEALSYS (France)

ANNEALSYS (France)

  薄膜形成 アニール 製品名 型式
R&D   AS-Micro 高速熱処理(RTP)
R&D/小ロット   AS-One 高速熱処理(RTP)
量産   AS-Premium 高速熱処理(RTP)
量産   AS-Master 高速熱処理(RTP)
量産   Zenith 100 高速熱処理(RTP)
R&D MC-050 DLI-CVD and DLI-ALD
量産   MC-100 DLI-CVD and DLI-ALD
量産   MC-200 DLI-CVD and DLI-ALD

ANNEALSYS는 RTA는 RTP 액체 원료 CVD 등 열처리 장비에 특색이 있습니다. 우수한 가열 균일성으로 빠르고 정확한 온도 제어를 실현할수있고 최대 200mm 사이즈까지 열 처리가 가능합니다. GaN, GaAs 등의 화합물 반도체 열처리에 적합하며, 세계적으로 널리 사용되고 있습니다. 또한 게재 모델 이외에도 SiC용 열처리 장비 및 ALD 공급장 비 등 다양한 라인업 제품을 준비하고 있습니다.

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비즈니스 플로

  • 사양 검토
  • 샘플 데모
  • 주문 / 제작
  • 출하전 입회
  • 출하 / 수입
  • 반입 / 설치
  • 조건 설치
  • 트레이닝
  • 검수

하이텍 시스템즈

특징

  • 성막 서비스가 충실
  • 서포트 체제가 충실
  • 일본 엔지니어가 충실

고객님

도입 후 애프터 서비스

스페어 부품 제공 / 사용자 사양
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