Single substrate processing sputtering
枚葉式スパッタ装置
- 商品コード
- 1493102690-247178
- メーカー
- アルバック
- 型式
- SMD-650C
- 年式
- 1997
- ワークサイズ
- サイズ
- 仕様
- 550×670×0.7、1.1(mm)
※本装置は、ガラス基板にITO膜を作成するための
枚葉式スパッタ装置です。
※ITO-ITO-ITO
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枚葉式スパッタ装置