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95420 EC001-0115 STEPPING MOTOR A4965-9015KTGE
69275 BV001-13407 AC POW FAIL DET BRDⅡ 881-621140-1A
69006 BV001-13138 Reticle Case FX-801用
69282 BV001-13414 RF I/F BRD A81-610091-61
68997 BV001-13129 Reticle Case FX-801用
58675 BV001-02801 DRIVER SSU504-0
69281 BV001-13413 PUMP CHILL I/F BRD A81-610000-43
9122 AE002-0208 A-LINK(HLS)SLAVE UNIT ALDA04M-0
22351 P9011-0018 INPUT UNIT A1SX42
69003 BV001-13135 Reticle Case FX-801用
22357 P9011-0024 OUTPUT UNIT A1SY42
58671 BV001-02797 AC SERVO AMPLIFIER MR-J2S-200B-PY096
69013 BV001-13145 Reticle Case FX-801用
22350 P9011-0017 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
22352 P9011-0019 INPUT UNIT A1SX40
69005 BV001-13137 Reticle Case FX-801用
69284 BV001-13416 UNIT I/F-E BOARD A 1A81-010594-94
106545 FM001-0729 I/O UNIT CJ1W-MD261
22358 P9011-0025 I/O UNIT A1SH42
9078 AE002-0159 OUTPUT UNIT CJ1W-OD231
69292 BV001-13424 UIFC CONN-C BOARD 1A81-010651-D3
9128 AE002-0215 BASE UNIT CS1W-BC053
47102 BU001-1410 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
58682 BV001-02808 DRIVER SSU504-1
69277 BV001-13409 EXT-DC DIST.BOARD A81-610290-13
68996 BV001-13128 Reticle Case FX-801用
67927 BV001-12059 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD20A
22348 P9011-0014 POWER SUPPLY UNIT A1S61PN
47087 BU001-1395 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
47089 BU001-1397 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
47084 BU001-1392 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
25966 AH601-0153 POWER SUPPLY UNIT CQM1-PD026
47091 BU001-1399 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
9138 AE002-0225 I/O CONTROL UNIT CS1W-IC102
58680 BV001-02806 DRIVER SSU504-0
68999 BV001-13131 Reticle Case FX-801用
69293 BV001-13425 CONV.I/F BRD A81-610070-39
58679 BV001-02805 DRIVER SSU504-0
69289 BV001-13421 L-DIO32 I/F BOARD 1A81-010390-B5
47094 BU001-1402 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
69286 BV001-13418 UNIT I/F-E BOARD B 1A81-010591-55
69285 BV001-13417 UNIT I/F-E BOARD A 1A81-010594-91
58683 BV001-02809 DRIVER SSU504-1
9133 AE002-0220 CPU UNIT CS1H-CPU67H
58677 BV001-02803 DRIVER SSU504-0
9126 AE002-0213 BASE UNIT CS1W-BI083
69007 BV001-13139 Reticle Case FX-801用
69009 BV001-13141 Reticle Case FX-801用
47092 BU001-1400 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
58684 BV001-02810 DRIVER SSU504-1
69297 BV001-13429 SUB CONN-A BOARD 1A08-010660-14
69002 BV001-13134 Reticle Case FX-801用
9120 AE002-0206 A-LINK(HLS)SLAVE UNIT ALDPF0M-T
58686 BV001-02812 DRIVER SSU504-1
58685 BV001-02811 DRIVER SSU504-1
69291 BV001-13423 UIFC CONN-C BOARD 1A81-010651-65
9134 AE002-0221 POWER SUPPLY UNIT C200HW-PD024
69290 BV001-13422 L-DIO32 I/F BOARD 1A81-010390-D5
47085 BU001-1393 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
69294 BV001-13426 CONV.I/F BRD A81-610070-29
47093 BU001-1401 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
67933 BV001-12065 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD75SW
9137 AE002-0224 LINK ADAPTER NT-AL001
9127 AE002-0214 BASE UNIT CS1W-BI103
22355 P9011-0022 OUTPUT UNIT A1SY40
9086 AE002-0167 CONTROLLER LINK UNIT CJ1W-CLK21-V1
67926 BV001-12058 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER BXD30A-C
67918 BV001-12050 STEPPING MOTOR DRIVER ASD16D-SDN
9136 AE002-0223 INPUT UNIT CS1W-ID291
67894 BV001-12026 CONTROLLER XG9200T-G
67915 BV001-12047 DRIVER ASD12B-S
106537 FM001-0721 SERIAL COMMUNICATION UNIT CJ1W-SCU21-V1
69288 BV001-13420 L-DIO32 I/F BOARD 1A81-010390-C5
67931 BV001-12063 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD75SW
25948 AH601-0135 OUTPUT UNIT D4-08TD1
67937 BV001-12069 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD75SW
58681 BV001-02807 DRIVER SSU504-1
67932 BV001-12064 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD75SW
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