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57081 BV001-01207 BRUSHLESS DC MOTOR AXBM5120-GFH
57102 BV001-01228 AC SERVO MOTOR HC-PQ053G1
20507 P0002-0484 IDENTIFICATION SYSTEM CONTROLLER V600
17248 JM001P-0064 POSITIONING UNIT QD75M1
107067 FN001-0203 POWER SUPPLY UNIT L61P
77433 CW001-1689 SERVO PACK SGDV-1R6A15A
107028 FN001-0164 A/D CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68ADVN
107029 FN001-0165 D/A CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68DAVN
107032 FN001-0168 D/A CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68DAVN
46722 BU001-1030 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
46708 BU001-1016 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
208F 082 BASE UNIT A1S38B
57087 BV001-01213 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM5120C-GF
107074 FN001-0210 INPUT UNIT LX42C4
46724 BU001-1032 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
26421 AH601-0608 POSITIONING UNIT QD75D1
107026 FN001-0162 A/D CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68ADVN
34145 M029-012-4 DC OUTPUT MODULE JW-212S
26420 AH601-0607 POSITIONING UNIT QD75D1
2042 1598-3 TERMINAL BOARD A6TBXY36
46721 BU001-1029 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
26417 AH601-0604 POSITIONING UNIT QD75D1
93939 DY002-0433 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
20713 P0004-0208 ID CONTROLLER READ/WRITE HEAD V600-H11
107072 FN001-0208 SERIAL COMMUNICATION UNIT LJ71C24
46712 BU001-1020 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
6367 9904-9001 プリント基板 MVR-RIO-LU1-110
26418 AH601-0605 POSITIONING UNIT QD75D1
93938 DY002-0432 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
46718 BU001-1026 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
6059F M03247-64 FLEXIBLE FLAT CABLE 4S031-810
28420 110925-54 ROLLER GEAR CAM UNIT RG0S050-090300
107030 FN001-0166 D/A CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68DAVN
6280 4WB1-9086 吸着パット PFG-8A-F
26434 AH601-0621 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
107033 FN001-0169 A/D CONVERTER UNIT AJ65VBTCU-68ADVN
34147 M029-012-6 DC OUTPUT MODULE JW-212S
46726 BU001-1034 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
46059 BU001-0367 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
69445 BV002-0098 Uniformity sensor (Stage) 4L992-610
46720 BU001-1028 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
202F 081 BASE UNIT A1S33B
46716 BU001-1024 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
26431 AH601-0618 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
69436 BV002-0089 Separator (flat type X-axis) 4B043-023
46710 BU001-1018 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
20893 P0005-0206 ID SENSOR UNIT C200H-IDS01-V1
20886 P0005-0197 OUTPUT UNIT C200H-OD215
6368 9904-9002 プリント基板 MVR-RIO-LU2-110
26419 AH601-0606 POSITIONING UNIT QD75D1
57185 BV001-01311 AC SERVO DRIVER R88D-MT20
6275 4WB1-9080 吸着パット PJG-8-FE
20655 P0004-0073 REMOTE I/O UNIT FCUA-DX110
20889 P0005-0201 B7A INTERFACE UNIT C200H-B7AI1
20896 P0005-0210 BASE UNIT C200HW-BC101-V1
26416 AH601-0603 POSITIONING UNIT QD75D1
69442 BV002-0095 Interferometer receiver 4S259-024
20884 P0005-0195 INPUT UNIT C200H-ID215
20888 P0005-0200 I/O UNIT C200H-MD215
93936 DY002-0430 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
45926 BU001-0234 POSITION CONTROLLER ACON-PL-10I-NP-2-0
46714 BU001-1022 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
20726 P0004-0321 I/O UNIT A0J2-E56DR
20179 P0001-0337 IDリーダー延長ケーブル V600-A45
20938 P0005-0375 POWER SUPPLY UNIT KZ-U3
93930 DY002-0424 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
26415 AH601-0602 POSITIONING UNIT QD75D1
93940 DY002-0434 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
34146 M029-012-5 DC OUTPUT MODULE JW-212S
46715 BU001-1023 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
93934 DY002-0428 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
26432 AH601-0619 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
20678 P0004-0101 REMOTE I/O UNIT FCUA-DX110
26435 AH601-0622 COMMUNICATION MODULE NP1L-RS2
69443 BV002-0096 Main shutter unit (L8) 4B990-257
5714 4PS7-0017 MOTOR 4S999-230
6060F M03247-65 RA BLOCK RA BLOCK
107012 FN001-0148 NON-CONTACT DOOR SWITCH CONTROLLER G9SX-NS202-RT
93935 DY002-0429 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
6188 4WA1-9214 I/F BOARD S-6F0668#1
46717 BU001-1025 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
46713 BU001-1021 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
6050F M03247-54 IL SHUTTER 4B990-514
93918 DY002-0412 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA202
34132 M029-010-4 DC INPUT UNIT JW-234N
93932 DY002-0426 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
26426 AH601-0613 PROCESSOR MODULE NP1PS-32
93937 DY002-0431 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
69433 BV002-0086 Nylon rope 4K197-098-1
46727 BU001-1035 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
57187 BV001-01313 AC SERVO DRIVER R88D-MT20
34127 M034-054-2 DC INPUT UNIT JW-234N
20725 P0004-0317 I/O UNIT A0J2-C214-S1
93920 DY002-0414 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
26425 AH601-0612 PROCESSOR MODULE NP1PS-32
69441 BV002-0094 Thrust bearing 4K116-405
26422 AH601-0609 POSITIONING UNIT QD75D1
46723 BU001-1031 SERVO PACK SGD7S-R90A00A
3412 130804-3-134 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-16T1
107073 FN001-0209 SERIAL COMMUNICATION UNIT LJ71C24
69440 BV002-0093 Thrust bearing 4K116-405
20727 P0004-0328 INTERFACE CONVERTER SI-20
46058 BU001-0366 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
20746 P0004-0480 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
69435 BV002-0088 Nylon rope 4K197-098-1
6049F M03247-53 CX ARM 4B025-805
26424 AH601-0611 PROCESSOR MODULE NP1PS-32
57192 BV001-01318 AC SERVO DRIVER R88D-MT20
3411 130804-3-133 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-16T1
107007 FN001-0143 NON-CONTACT DOOR SWITCH CONTROLLER G9SX-NS202-RT
26430 AH601-0617 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
69446 BV002-0099 Bent plate (L8C) 4K890-835AB
69789 BV004-0086 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD40C
46053 BU001-0361 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
69796 BV004-0093 LINEARSERV TM13001045-2SN
69431 BV002-0084 Stage T-unit block (Holder block) 4B042-811
34126 M029-027-2 PULSE OUTPUT MODULE JW-21PS
34131 M029-010-3 DC INPUT UNIT JW-234N
46054 BU001-0362 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
69448 BV002-0101 Bent plate (L8C) 4K890-835AB
34136 M029-010-8 DC INPUT UNIT JW-234N
34135 M029-010-7 DC INPUT UNIT JW-234N
93925 DY002-0419 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
26436 AH601-0623 COMMUNICATION MODULE NP1L-RS2
93926 DY002-0420 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
46055 BU001-0363 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
2025 1598-2 TERMINAL BOARD A6TBXY36
46060 BU001-0368 MOTOR DRIVER TDP-045CU-200AC-GA20SU-1U-J
93927 DY002-0421 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
69450 BV002-0103 Washer (L8C) 4K164-975AB
26429 AH601-0616 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22
34129 M029-008-2 CONTROL MODULE JW-32CUH1
69798 BV004-0095 LINEARSERV TM13001045-2SN
69434 BV002-0087 Nylon rope 4K197-098-1
69795 BV004-0092 LINEARSERV TM13001045-2SN
77465 CW001-1721 SERVO PACK SGDV-1R6A15A
93923 DY002-0417 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
34130 M029-010-2 DC INPUT UNIT JW-234N
107070 FN001-0206 CC-LINK IE Field Network Master Local Unit LJ71GF11-T2
77454 CW001-1710 SERVO PACK SGDV-1R6A15A
77466 CW001-1722 SERVO PACK SGDV-1R6A15A
3413 130804-3-135 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-16T1
69432 BV002-0085 Stage T-unit block (Holder block) 4B042-811
697F 336 SPEED CONTROLLER MSP301N
34144 M029-012-3 DC OUTPUT MODULE JW-212S
93924 DY002-0418 POWER SUPPLY UNIT CJ1W-PA205R
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