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17454 JM002P-0178 SPEED CONTROL MOTOR MBM540-412
38631 BD001-0059 INDUCTION MOTOR BHI62ST-G2
14073 JA058P-004 DC POWER SUPPLY EWS300-24
14083 JA058P-015 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
41479 BG002-0315 CARD APC DAVGHTEL 0660-01398
109612 FY002-0113 RELAY H-DO-D-D
14067 JA057P-034 DC POWER SUPPLY PSR-H50
30030 AQ001-0688 INPUT UNIT AX42
14080 JA058P-012 OUTPUT UNIT A1SY41
80643 CY001-0020 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
14076 JA058P-008 CPU UNIT A2USCPU-S30
14074 JA058P-005 POWER SUPPLY UNIT A1S61P
14078 JA058P-010 INPUT UNIT A1SX41
14082 JA058P-014 OUTPUT UNIT A1SY10
32001 AR001-1020 POWER SUPPLY UNIT Q61P
14063 JA057P-030 OUTPUT UNIT AY42
30029 AQ001-0687 INPUT UNIT AX42
15039 JA139P-001 POWER SUPPLY UNIT A1S61P
14062 JA057P-029 INPUT UNIT AX40
30034 AQ001-0692 INPUT UNIT AX42
32002 AR001-1021 POWER SUPPLY UNIT Q61P
38683 BD001-0111 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-10B
3865 1TA1-9030 NON-EXCITED BRAKE BXM-04-10-A-6
80668 CY001-0045 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
92398 190203-128 ISS SENSOR(DETECTOR) ISS SENSOR(DETECTOR)
38596 BD001-0024 INDUCTION MOTOR 2IK6GN-SW2B
38644 BD001-0072 REGENERATIVE OPTION MR-RB12
41481 BG002-0317 CARD APC DAVGHTEL 0660-01398
30027 AQ001-0685 INPUT UNIT AX42
92397 190203-127 反射率モニタ用ハーフミラー 反射率モニタ用ハーフミラー
41478 BG002-0314 CARD APC DAVGHTEL 0660-01398
31999 AR001-1018 POWER SUPPLY UNIT Q61P
38748 BD001-0176 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-70B
7573 AA002-0031 SERVO PACK SGDV-R90A05A
319F 118 POWER SUPPLY UNIT C200HW-PA204S
92393 190203-123 FLY EYE LENS FLY EYE LENS
30039 AQ001-0697 INPUT UNIT AX42
32003 AR001-1022 POWER SUPPLY UNIT Q61P
92383 190203-113 BLIND BLIND
14053 JA057P-020 DC POWER SUPPLY EWS300-24
14045 JA057P-011 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
32005 AR001-1024 POWER SUPPLY UNIT Q61P
38597 BD001-0025 INDUCTION MOTOR 2IK6GN-SW2B
38688 BD001-0116 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-70B
32008 AR001-1027 POWER SUPPLY UNIT Q61P
41480 BG002-0316 CARD APC DAVGHTEL 0660-01398
41482 BG002-0318 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 2OUT 0660-01571
41465 BG002-0301 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01513
32006 AR001-1025 POWER SUPPLY UNIT Q61P
92395 190203-125 TARGET HALF MIRROR TARGET HALF MIRROR
15042 JA139P-004 INPUT UNIT A1SX42
30028 AQ001-0686 INPUT UNIT AX42
15040 JA139P-002 CPU UNIT A2USCPU
41476 BG002-0312 TEMP MONITOR 0100-66002 REV E4
30026 AQ001-0684 INPUT UNIT AX42
41487 BG002-0323 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 21N 0660-01572
15043 JA139P-006 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
32007 AR001-1026 POWER SUPPLY UNIT Q61P
38743 BD001-0171 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B
92388 190203-118 反射率モニタ 反射率モニタ
14046 JA057P-012 DATA LINK UNIT A1SJ71AP21
92402 190203-132 PA OPTICAL FIBER PA OPTICAL FIBER
7574 AA002-0032 SERVO PACK SGDS-20A15A
7568 AA002-0026 AC SERVO DRIVER MFDDTA390
30031 AQ001-0689 INPUT UNIT AX42
15036 JA138P-007 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
14040 JA057P-004 CPU UNIT A2USCPU-S30
7571 AA002-0029 AC SERVO DRIVER MBDDT2210
41488 BG002-0324 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 21N 0660-01572
38745 BD001-0173 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B
32918 AR001-1937 CC-LINK MASTER UNIT QJ61BT11N
80675 CY001-0052 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
3874 1TA1-9041 SERVO PACK SGD-02BH
14048 JA057P-014 INVERTER J100-015LF2
14041 JA057P-006 INPUT UNIT A1SX41
14047 JA057P-013 INVERTER J100-004LF2
30032 AQ001-0690 INPUT UNIT AX42
32004 AR001-1023 POWER SUPPLY UNIT Q61P
38747 BD001-0175 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-70B
8067 AA002-0535 SERVO PACK SGDV-330A05A
7567 AA002-0025 AC SERVO DRIVER MFDDTB3A2
14051 JA057P-018 INVERTER WJ200-015LF
80672 CY001-0049 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
75749 CW001-0005 BS SERVO MOTOR VLBSV-45030-K
7566 AA002-0024 SERVO PACK SGDV-120A05A
32013 AR001-1032 POWER SUPPLY UNIT Q61P
32015 AR001-1034 POWER SUPPLY UNIT Q61P
92396 190203-126 積算露光量センサ用ハーフミラー 積算露光量センサ用ハーフミラー
14050 JA057P-016 INVERTER J100-037LF2
92389 190203-119 DICHROIC MIRROR(BACK) DICHROIC MIRROR(BACK)
55566 CO001-4924 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
15048 JA139P-011 2軸位置決ユニット E-20GM
15065 JA140P-011 MOTION CONTROLLER A222AM-20
32019 AR001-1038 POWER SUPPLY UNIT Q61P
92378 190203-108 UV LAMP CONTROLLER UU-0045-A
30043 AQ001-0701 INPUT UNIT AX42
32014 AR001-1033 POWER SUPPLY UNIT Q61P
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