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92345 190203-075 Halogen lamp HALOGEN LAMP
112695 HE001-0005 INPUT UNIT QX41
18623 L2340-008 STEPPING MOTOR ASM98AC-T10
41488 BG002-0324 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 21N 0660-01572
5538 4PS5-0040 L6LCCTRL BOARD 4S007-720-H LC-2
13770 JA039P-019 D/A UNIT C500-DA101
70526 BV004-0823 INVERTER CIMR-V7AA27P5
1742 002-252 AC SERVO DRIVER MSD023A3C
15003 JA137P-003 OUTPUT MODULE A03B-0807-C155
17427 JM002P-0143 SERVO AMPLIFIER MODULE A06B-6114-H303
83767 DE003-1127 SENSOR TERMINAL M1S-16T
13771 JA039P-020 Position Control Module C500-NC111-V1
41487 BG002-0323 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 21N 0660-01572
18619 L2340-004 AC SERVO MOTOR SGMPH-08AAA61
18624 L2340-009 MOTOR CNUM02
18616 L2340-001 AC SERVO MOTOR SGMPH-04AAAGB61
41476 BG002-0312 TEMP MONITOR 0100-66002 REV E4
13759 JA039P-008 I/O INTERFACE UNIT C500-II002
43586 BJ001-1577 AREA SENSOR EXPANSION UNIT PJ-55A
18566 L2310-008 AC SERVO MOTOR SGMAH-02AAA41
41465 BG002-0301 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01513
5537 4PS5-0039 L6LCCTRL BOARD 4S008-635-B LC-2
41482 BG002-0318 CARDAPC DIGITAL I/O GENELIC 2OUT 0660-01571
41480 BG002-0316 CARD APC DAVGHTEL 0660-01398
13778 JA039P-027 INPUT UNIT C200H-ID215
5539 4PS5-0041 基板 4S015-001-2
112702 HE001-0012 INPUT UNIT QX42
112704 HE001-0014 ETHERNET I/F UNIT QJ71E71-100
92352 190203-082 Main chamber temp sensor (L8) MAIN CHAMBER TEMP SENSOR
112355 HD001-0700 PROGRAMMABLE CONTROLLER FX1-48MR
17416 JM002P-0132 SERVO CONTROL UNIT HA-655-2-200
1739 002-249 AC SERVO DRIVER MSD023A3C
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