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17389 JM002P-0097 DRIVER MBDFT1507
2145 019-401 STEPPING MOTOR PK566AW
92419 190203-149 PGA LASER(XT) PGA LASER(XT)
50173 CP001-0505 AREA SENSOR PJ-F41R
21470 P0010-0054 SERVO PACK SGDA-03BPY79
55565 CO001-4923 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
92405 190203-135 STAGE T UNIT STAGE T UNIT
21469 P0010-0052 SERVO PACK SGDA-01BPY79
17380 JM002P-0088 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER FBLD75SW
50230 CQ001-0039 FIBER SENSOR AMPLIFIER E3NX-FA11
21464 P0010-0047 AC SERVO MOTOR SGM-02B314B
21527 P0010-0173 AC SERVO MOTOR MSM022A4U
92410 190203-140 Y BAR MIRROR Y BAR MIRROR
109587 FY002-0088 RELAY H-PCP-B14N-M*AC
109589 FY002-0090 RELAY H-PCP-B14N-M*AC
50229 CQ001-0038 PHOTO MICRO SENSOR EE-SY672
21462 P0010-0044 AC SERVO MOTOR SGMP-01B314
109583 FY002-0084 ANALOG INPUT MODULE NP1AXH4-MR
50172 CP001-0504 AREA SENSOR PJ-F40T
14024 JA056P-006 INPUT UNIT A1SX41
50177 CP001-0509 AREA SENSOR PJ-F41T
50171 CP001-0503 AREA SENSOR PJ-F40R
50176 CP001-0508 AREA SENSOR PJ-F41T
109584 FY002-0085 I/O TERMINAL NR1SY-16T05DT
109750 GT001-0010 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
14248 JA065P-046 OUTPUT MODULE FC4A-R161
109732 FY002-0233 AC SERVO MOTOR GYS101DC1-SB-B
92407 190203-137 INTERFEROMETER X OPTICAL FIVER INTERFEROMETER X OPTICAL FIVER
111589 GR001-0096 SERVO PACK SGDH-A3AE
92417 190203-147 INTERFEROMETER X UNIT INTERFEROMETER X UNIT
14017 JA055P-016 DC POWER SUPPLY JWS300-24
109588 FY002-0089 RELAY H-PCP-B14N-M*AC
105975 FM001-0159 AC SERVO MOTOR SGMJV-A5ADA21
106098 FM001-0282 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER BLED6S
14011 JA055P-010 NETWORK UNIT A1SJ71LP21
50175 CP001-0507 AREA SENSOR PJ-F41R
109599 FY002-0100 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
14022 JA056P-004 CPU UNIT A2USHCPU-S1
2146 019-402 STEPPING MOTOR PK245-01A
109582 FY002-0083 POSITIONING MODULE NP1F-MP2
105960 FM001-0144 SERVO PACK SGDV-R70A11B
109746 GT001-0006 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
92420 190203-150 PL PREALIGN X1 PL PREALIGN X1
14028 JA056P-010 OUTPUT UNIT A1SY10
92415 190203-145 DIGIMICRO 2B150-804 4S554-003-1
50905 CO001-0263 REGENERATIVE OPTION MR-RB032
14037 JA056P-023 DC POWER SUPPLY JWS300-24
32756 AR001-1775 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-32T
14035 JA056P-019 OUTPUT UNIT AY42
106092 FM001-0276 AC SERVO MOTOR HG-KR43BG1K
106918 FN001-0054 POWER SUPPLY UNIT Q61P
106094 FM001-0278 REGENERATIVE OPTION MR-RB12
50906 CO001-0264 REGENERATIVE OPTION MR-RB032
14010 JA055P-008 OUTPUT UNIT A1SY10
109585 FY002-0086 POWER SUPPLY MODULE NP1S-22A
106928 FN001-0064 OUTPUT UNIT QY42P
92421 190203-151 PL PREALIGN X2 PL PREALIGN X2
92416 190203-146 INTERFEROMETER Y UNIT INTERFEROMETER Y UNIT
106777 FM001-0961 D/A CONVERTER UNIT AJ65BT-64DAV
14030 JA056P-013 NETWORK UNIT A1SJ71LP21
50909 CO001-0267 REGENERATIVE UNIT RGU-2
50911 CO001-0269 REGENERATIVE UNIT RGU-2
109601 FY002-0102 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
30062 AQ001-0720 INPUT UNIT AX41
111593 GR001-0100 AC SERVO DRIVER MSD041A1XX
50912 CO001-0270 GEAR HEAD 4GN15K
109747 GT001-0007 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
109591 FY002-0092 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
30047 AQ001-0705 INPUT UNIT AX42
109602 FY002-0103 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
38590 BD001-0018 AC SERVO MOTOR SGMM-A2S3JA2
14034 JA056P-018 INPUT UNIT AX40
55573 CO001-4931 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
31966 AR001-0985 CPU UNIT Q20UDEHCPU
31964 AR001-0983 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
109593 FY002-0094 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
38591 BD001-0019 AC SERVO MOTOR SGMM-A2S3JA2
109748 GT001-0008 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
109744 GT001-0004 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
31968 AR001-0987 CPU UNIT Q20UDEHCPU
111597 GR001-0104 AC SERVO DRIVER MLDET2310P01
80686 CY001-0063 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
111586 GR001-0093 SERVO PACK SGDH-A3AE
14032 JA056P-015 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
80692 CY001-0069 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
111599 GR001-0106 AC SERVO DRIVER MLDET2310P01
55570 CO001-4928 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
31960 AR001-0979 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
31967 AR001-0986 CPU UNIT Q20UDEHCPU
32764 AR001-1783 INPUT UNIT AJ65SBTB1-16D
38594 BD001-0022 INDUCTION MOTOR 2IK6GN-SW2B
55567 CO001-4925 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
80693 CY001-0070 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
109741 GT001-0001 3-phase induction motor 2P-22KW AEHFUT
30046 AQ001-0704 INPUT UNIT AX42
55569 CO001-4927 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
31959 AR001-0978 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
111596 GR001-0103 AC SERVO DRIVER MLDET2310P01
50900 CO001-0258 FA-CODER TS5612N252
55574 CO001-4932 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
111574 GR001-0081 SERVO PACK SGDH-04AEY291
50904 CO001-0262 REGENERATIVE OPTION MR-RB032
50279 CQ001-0088 FIBER SENSOR AMPLIFIER FS-T2
50278 CQ001-0087 FIBER SENSOR AMPLIFIER FS-T1
30082 AQ001-0740 MELSECNET/10 NETWORK UNIT AJ71LP21
38592 BD001-0020 AC SERVO MOTOR SGMM-A2S3JA2
50275 CQ001-0084 FIBER SENSOR UNIT FU-40
31963 AR001-0982 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
111594 GR001-0101 AC SERVO DRIVER MSD041A1XX
109597 FY002-0098 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
92418 190203-148 PGA LASER(AY) PGA LASER(AY)
50274 CQ001-0083 FIBER SENSOR FU-35FA
92409 190203-139 X BAR MIRROR X BAR MIRROR
41446 BG002-0282 P2 DAUGHTER BOARD EL1592 REV B
31962 AR001-0981 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
111598 GR001-0105 AC SERVO DRIVER MLDET2310P01
38595 BD001-0023 INDUCTION MOTOR 2IK6GN-SW2B
55571 CO001-4929 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
109737 FY002-0238 STEPPING MOTOR ASM66ACE-N5
109745 GT001-0005 BRUSHLESS DC MOTOR FBLM440A-GF
30056 AQ001-0714 POWER SUPPLY UNIT A61P
30054 AQ001-0712 POWER SUPPLY UNIT A61P
80687 CY001-0064 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
41460 BG002-0296 CVD CHAMBER GAS INTERLOCK GAMMA 0100-66019 REV A
55568 CO001-4926 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
32757 AR001-1776 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-32T
15003 JA137P-003 OUTPUT MODULE A03B-0807-C155
111587 GR001-0094 SERVO PACK SGDH-A3AE
109590 FY002-0091 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
111580 GR001-0087 SERVO PACK SGDH-A3AE
80695 CY001-0072 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
30057 AQ001-0715 POWER SUPPLY UNIT A61P
30051 AQ001-0709 POWER SUPPLY UNIT A61P
30048 AQ001-0706 POWER SUPPLY UNIT A61P
80688 CY001-0065 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
109598 FY002-0099 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
38593 BD001-0021 AC SERVO MOTOR SGMM-A2S3JA2
50903 CO001-0261 REGENERATIVE OPTION MR-RB032
75757 CW001-0013 STEPPING MOTOR ARM98MC
14997 JA136P-024 INTERFACE MODULE CP-317/217IF
109596 FY002-0097 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
111588 GR001-0095 SERVO PACK SGDH-A3AE
14008 JA055P-006 OUTPUT UNIT A1SY41
106923 FN001-0059 INPUT UNIT QX42
111584 GR001-0091 SERVO PACK SGDH-A3AE
80689 CY001-0066 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
75755 CW001-0011 BS SERVO MOTOR VLBSV-45030-K
30055 AQ001-0713 POWER SUPPLY UNIT A61P
109721 FY002-0222 AC SERVO MOTOR HF-KP053
80709 CY001-0086 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
14012 JA055P-011 A/D CONVERTER UNIT A1S64AD
55572 CO001-4930 FIBER SENSOR AMPLIFIER FX-305
30053 AQ001-0711 POWER SUPPLY UNIT A61P
111581 GR001-0088 SERVO PACK SGDH-A3AE
75751 CW001-0007 BS SERVO MOTOR VLBSV-45030-K
109594 FY002-0095 RELAY H-TIO-B-FK09-V*NN
75759 CW001-0015 STEPPING MOTOR ARM98MC
80706 CY001-0083 AC SERVO AMPLIFIER MR-J4-10A
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