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117187 HP001-0368 5-PHASE DRIVER UDK5128N
11793 BS0085P-005 BASE UNIT A68B
41434 BG002-0270 CHAMBER GAS BACKPLANE 0100-65496 REV C
43422 BJ001-1413 AREA SENSOR EXPANSION UNIT PJ-55A
11770 BS0081P-010 OUTPUT UNIT A1SY50
41427 BG002-0263 JG05 BG9-2790
41443 BG002-0279 FACTORY AUTOMATIOM/LOADLOCK DISTRIBUTION 0100-66000
90887 DU001-0770 UNIT I/F-E BOARD A 1A81-010591-67
11772 BS0081P-014 BASE UNIT A1S55B
41429 BG002-0265 基板 BG6-3582
11551F QA0172-3 MINI-S3 MASTER UNIT AJ71PT32-S3
43394 BJ001-1385 AREA SENSOR EXPANSION UNIT PJ-55A
41460 BG002-0296 CVD CHAMBER GAS INTERLOCK GAMMA 0100-66019 REV A
11562F QCA0052P-002-3 OUTPUT UNIT AY51
41431 BG002-0267 IB02 BG9-8462/BG9-1073
90869 DU001-0752 GAS I/F BRD-B 1A81-010062-18L
93369 DY001-0703 電磁接触器 S-T32 AC200V
11795 BS0086P-002 INPUT UNIT AX42
90905 DU001-0788 SUB CONN-A BOARD 1A08-010660-14
90891 DU001-0774 L-DIO32 I/F BOARD 1A81-010390-B6
11765 BS0081P-002 INPUT UNIT AX42
7898 AA002-0364 AC SERVO DRIVER MADDT1207
41425 BG002-0261 基板 BG6-1280
41416 BG002-0252 DISK-UNIT-Ⅱ BG4-3811
54842 CO001-4200 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
103838 FD001-0040 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
11563 BS0059P-003 OUTPUT UNIT AY42
11522 BS0038P-002 OUTPUT UNIT AY42
11758 BS0080P-002 INPUT UNIT AX42
41433 BG002-0269 CHAMBER PRIMARY DISTRIBUTION 0100-65520 REV E8
11552F QA0172-4 INPUT UNIT AX41
41424 BG002-0260 基板 BG6-1241
2559 10-046 PS Cool Control Unit PS Cool Control Unit
12597 EFA001P-018 FA-Link H Module F3LP02-0N
11559F QA0176-1 OUTPUT UNIT AY42
43407 BJ001-1398 AREA SENSOR EXPANSION UNIT PJ-55A
41442 BG002-0278 FACTORY AUTOMATIOM/LOADLOCK DISTRIBUTION 0100-66011 REV E2
93368 DY001-0702 電磁接触器 S-T32 AC200V
2603 10-090 PL-LINK 4S017-627-P
41458 BG002-0294 PERSONALITY BOARD 0100-66025 REV P2
11785 BS0084P-002 INPUT UNIT AX42
41428 BG002-0264 基板 BG6-1224
41447 BG002-0283 P2 DAUGHTER BOARD EL3593 REV P3
103814 FD001-0016 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
54834 CO001-4192 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
90867 DU001-0750 TSBC EPD I/F BRD-B 1A81-010343-14
103837 FD001-0039 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
41430 BG002-0266 基板 BG6-1226
41422 BG002-0258 基板 BG6-1222
90880 DU001-0763 UIFC CONN-C BOARD 1A81-010651-D3
54836 CO001-4194 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
54866 CO001-4224 MAGNETIC CONTACTOR S-N10
35744 AS001-1851 AC SERVO MOTOR SGMMJ-A3B2B21
90903 DU001-0786 SUB CONN-B BOARD 1A81-010670-12
90874 DU001-0757 PUMP CHILL I/F BRD A81-610000-33
54840 CO001-4198 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
41419 BG002-0255 LH03 BG6-1952
90866 DU001-0749 DI SUB CONN BOARD 1A81-010420-11
11750 BS0070P-006 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
41453 BG002-0289 MOTHER BOARD 0660-01501
90872 DU001-0755 MB ADAPTOR2 044-000962-1
103839 FD001-0041 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
12531 DH005P-051 INPUT UNIT QX42
54835 CO001-4193 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
30497 AQ001-1155 OUTPUT UNIT A1S42Y
12588 EFA001P-007 OUTPUT UNIT A1SY42
12530 DH005P-050 OUTPUT UNIT QY42P
12534 DH005P-054 BASE UNIT Q68B
12598 EFA001P-019 DC INPUT F3XD64-3F
93367 DY001-0701 電磁接触器 S-T32 AC200V
54847 CO001-4205 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC27P415-02010P019
90906 DU001-0789 SUB CONN-A BOARD 1A08-010660-14
11556F QA0173-2 BASE UNIT A38B
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