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14632 JA093P-005 CONTROLLER LINK UNIT CS1W-CLK23
75945 CW001-0201 STEPPING MOTOR DRIVER ARD-S
67479 BV001-11611 AC SERVO DRIVER MSDA013A1A
14630 JA093P-003 OUTPUT UNIT CS1W-OD231
74628 CN001-0438 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B(GA)
74611 CN001-0421 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B
32927 AR001-1946 RS-232 UNIT QJ71C24N-R2
67478 BV001-11610 AC SERVO DRIVER MSDA013A1A
6730 9918-9002 漏電ブレーカー LR50F-3P-15A
32920 AR001-1939 CC-LINK MASTER UNIT QJ61BT11N
75951 CW001-0207 POSITION CONTROLLER SCON-C-60A-NP-2-2
67485 BV001-11617 AC SERVO DRIVER MSDA013A1A
69578 BV002-0231 RL library fork arm motor 4S999-043(RL LIBRARY)
63335 BV001-07463 S-LINK TERMINAL SL-VTB8
14569 JA087P-011 I/O INTERFACE MODULE A03B-0819-C011
69579 BV002-0232 AIS camera set (L8) AIS CAMERA SET
75943 CW001-0199 STEPPING MOTOR DRIVER ARD-S
6621F M036-038 INVERTER FVR0.4C11S-2
79538 CW001-3794 CURRENT TRANSFORMER CW-5LP
69591 BV002-0244 RL SU/SD arm flat cable (L8) RL SU/SD ARM FLAT CABLE
50755 CO001-0113 PIRANI GAUGE SENSOR UNIT SP1
69586 BV002-0239 Main chamber temp sensor (L8) MAIN CHAMBER TEMP SENSOR
63337 BV001-07465 S-LINK TERMINAL SL-VTB8
32829 AR001-1848 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
74615 CN001-0425 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B
32924 AR001-1943 RS-232 UNIT QJ71C24N-R2
75952 CW001-0208 POSITION CONTROLLER SCON-C-60A-NP-2-2
14619 JA091P-008 IDENTIFICATION SYSTEM CONTROLLER V600
14641 JA094P-008 I/O UNIT C200H-MD215
14605 JA090P-011 POWER SUPPLY UNIT C200HW-PA204
56294 BV001-00419 DRIVER SSU50-130
75946 CW001-0202 STEPPING MOTOR DRIVER ARD-S
32823 AR001-1842 I/O UNIT QH42P
67683 BV001-11815 INVERTER SJ100-022LFR
69587 BV002-0240 SUB chamber temp sensor (L8) SUB CHAMBER TEMP SENSOR
69601 BV002-0254 Vibrator VIBRATOR
56364 BV001-00489 AC SERVO AMPLIFIER MR-C20A
6334 9901-9002 PROXIMITY SENSOR GXL-8H
40056 BF001-0319 I/O LINK REMOTE UNIT AJ55TB2-16T
6529 9912-9063 SOLID STATE RELAY US-K20DDTE
75954 CW001-0210 AC SERVO DRIVER MBDDT2210
56296 BV001-00421 DRIVER SSU50-130
69584 BV002-0237 Interferometer unit Y-axis INTERFEROMETER UNIT Y-AXIS
14629 JA093P-002 INPUT UNIT CS1W-ID211
14567 JA087P-009 DIGITAL INPUT MODULE A03B-0819-C106
14625 JA092P-007 ID CONTROLLER READ/WRITE HEAD V600-H11
56298 BV001-00423 DRIVER SSU50-130
6308 4WB1-9115 液面検査センサ HPQ-T1
14639 JA094P-006 INPUT UNIT C200H-ID217
32827 AR001-1846 I/O UNIT QH42P
69589 BV002-0242 LLTC temp sensor (L8) LLTC TEMP SENSOR
50754 CO001-0112 PIRANI GAUGE SENSOR UNIT SP1
14640 JA094P-007 OUTPUT UNIT C200H-OD219
79539 CW001-3795 CURRENT TRANSFORMER CW-5LP
69585 BV002-0238 Key board 3X-LK464-A2
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