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54874 CO001-4232 MAGNETIC CONTACTOR S-N10
69477 BV002-0130 Reticle changer motor 4S999-189
54876 CO001-4234 MAGNETIC CONTACTOR S-N10
12622 EFA001P-043 STEPPING MOTOR PX533MH-B
16321 JA504P-287 GEAR HEAD 2GN36K
104182 FD001-0384 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
69486 BV002-0139 PL CZ bearing 4B729-129
58761 BV001-02887 AIR CYLINDER 10-CJ2B16-15R
94051 DY002-0545 DC POWER SUPPLY S8VS-18024A/ED2
55496 CO001-4854 赤外線式炎検知器 HIR-3024Ⅱ
55504 CO001-4862 FIBER SENSOR AMPLIFIER F80R
16311 JA504P-276 STEPPING MOTOR PK569H-NAC
69484 BV002-0137 PL CZ bearing 4B729-129
16303 JA504P-268 INDUCTION MOTOR 5IK90GU-AF
58763 BV001-02889 N2 REG SRH4110-03
104181 FD001-0383 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
104178 FD001-0380 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
69482 BV002-0135 Separator(L8 V type X-axis) 4B043-024-1
104180 FD001-0382 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
16304 JA504P-269 INDUCTION MOTOR 5IK40GN-S
125F 042 5-PHASE STEPPING MOTOR UPH599HG2-A-A15
16314 JA504P-280 SPEED CONTROL MOTOR MSM590-511C
69494 BV002-0147 RETICLE CASE 透明ピン有36MM
69476 BV002-0129 Reticle changer motor 4S999-189
69485 BV002-0138 PL CZ bearing 4B729-129
55503 CO001-4861 FIBER SENSOR AMPLIFIER F80R
12663 EFA004P-002 AC SERVO MOTOR TS4509N2021E200
69492 BV002-0145 RL relay PCB (L8C) 4S025-155-E
16308 JA504P-273 SPEED CONTROL MOTOR MSM540-402
69487 BV002-0140 Photomal sensor (Reticle align) 4S183-031
69495 BV002-0148 RETICLE CASE 透明ピン有36MM
16307 JA504P-272 SPEED CONTROL MOTOR MSM425-401
104183 FD001-0385 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
104175 FD001-0377 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
58768 BV001-02894 ROTARY ACTUATOR CRB2BW30-180S
69491 BV002-0144 RL relay PCB (L8C) 4S025-155-E
16306 JA504P-271 SPEED CONTROL MOTOR MSM560-501C
59496 BV001-03622 漏電遮断器 EA53A
54881 CO001-4239 MAGNETIC CONTACTOR S-N10
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