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28689 BS0081P-007 CPU UNIT A2USHCPU-S1
28714 1TA3-0003 PC-UW UW-PC98-A
28754 M9902-022 BASE UNIT A1S52B-S1
28651 BR9044M-001 温湿度記録計 NSⅡ-Q
11453 BS0012P-001 POWER SUPPLY UNIT A1S61PN
28661 L1930-018 電導度アンプボード M76-PS1FD
11429 BS0010P-009 MELSECNET/10 NETWORK UNIT AJ71LP21
69611 BV002-0264 RL CX Motor 4S999-043(RL CX)
28684 P0001-0132 CONTROL BOARD 1R81-603529-13
28752 4WB3-0001 AC SERVO MOTOR NA50-40BALKNN-CE
69617 BV002-0270 Stage Flat cable (L8) STAGE FLAT CABLE
118401 HZ001-0057 MECS PENDANT CONTROL SB-101
6959F M045-004 I/O BUS EXTENSION ADAPTER JW-1EA
69597 BV002-0250 CAMERA MODULE XC-55BB
69583 BV002-0236 Interferometer unit X-axis INTERFEROMETER UNIT X-AXIS
69631 BV003-0011 STEPPING MOTOR DRIVER PMD03C
28704 9924-9096 CYLINDER CDG1BN25-180
28705 9901-9004 CYLINDER CDG1BN20-125
28664 9936-9002 SOLENOID VALVE 10-SS5Y3-41-12-C6
1587350733-486114 190909-002 Particle inspection WM-7
1578293956-060070 170308-L01334 Coater/Developer SK-N750G
28687 BR9092M-001 温湿度記録計 R-704
69582 BV002-0235 SU/SD Z-axis Motor 4S999-178
69607 BV002-0260 Auto focus vibrator & Sensor (L8) NP2014
69585 BV002-0238 Key board 3X-LK464-A2
28694 M5050-021 SOLID STATE RELAY G3PA-420B-VD
69624 BV003-0004 SP PCB BG6-8378
69614 BV002-0267 RL LY flat cable (L8) RL LY FLAT CABLE
28708 M028-003-4 DC INPUT UNIT JW-234N
28727 4DP1-0003 パソコン 8183-G8J
28691 JA029P-005 CPU UNIT A2USHCPU-S1
28702 4971-9044 マニホールド SS5Y5-41-06-C6
69626 BV003-0006 XY PCB BG6-9534/BG8-1930
29896 AQ001-0554 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC26P415-02102P1109
11449 BS0011P-013 BASE UNIT A35B
1587361592-454699 200121-016 Tester IP750EX
29903 AQ001-0561 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC26P415-02102P1109
69613 BV002-0266 Damper flat cable (L8) 4S094-688
28674 SKA020-0011 DRIVER A06B-6114-H104
28641 P9013-0024 REVERSIBLE MOTOR 3RK15RGN-C
28650 BR9027M-001 温湿度記録計 NSⅡ-Q
28706 4CA1-9028 CYLINDER CDG1BN20-75
69602 BV002-0255 Vibrator VIBRATOR
28690 BS0089P-010 CPU UNIT A2USHCPU-S1
1587367973-849585 200420-01CD coater/developer ACT8
69610 BV002-0263 PL Unload slider belt & block (L8) PL UNLOAD SLIDER BELT & BLOCK
69609 BV002-0262 PL Load slider belt & block (L8) PL LOAD SLIDER BELT & BLOCK
69616 BV002-0269 Stage Flat cable (L8) STAGE FLAT CABLE
29897 AQ001-0555 THYRISTOR POWER REGULATOR PAC26P415-02102P1109
28712 1TA1-9049 CABLE 20055 VW-1
6961F M045-006 DC OUTPUT UNIT JW-232S
69579 BV002-0232 AIS camera set (L8) AIS CAMERA SET
28654 4DT1-0013 ロボットコントローラー UTW111HG
69629 BV003-0009 XZ PCB BG6-8090
1587361060-645223 200121-015 CVD C2-SPEED
1578295097-690066 180219-L01032 Exposure equipment MPA-6000
1578295205-380038 180329-H2003 ODF system equipment
28642 110925-28 GEAR HEAD 5GU7.5KB
69580 BV002-0233 Stage CT unit (L8) 4B991-427
28675 SKA020-0012 DRIVER A06B-6115-H003
28682 9936-9003 SOLENOID VALVE 10-SS5Y3-41-08-C6
1576050536-342108 190601-PY-172 Automatic Micro Image Processing CMM AMIC-360
1576049491-459993 171001-H-020-00 Vacuum Cleaner(Cleanroom) CV-104E
1578299099-745241 171001-H-008-00
6960F M045-005 RELAY OUTPUT MODULE JW-34S
1576048660-297268 171001-H-012-00 Lifter HL-200
1576049578-126897 171001-H-021-00 Vacuum Cleaner(Cleanroom) SCV-101
118413 HZ001-0069 TMP CONTROLLER TC203
1578293496-123012 170308-057612 Exposure equipment MPA-6000
1587350249-289179 190909-001 Surface Roughness Measuring Instrument ET4000A
1587366823-890456 200121-099 Etcher TE8500P
118407 HZ001-0063 電離真空計電源 M-832HG
1576049400-939847 171001-H-019-00 Vacuum Cleaner(Cleanroom) SCV-101
28638 019-336 TIMER H3Y-2
1587349543-497438 190726-001 Loader NWL860
28756 M9101-002 D/A CONVERTER UNIT AJ65SBT-62DA
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