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106369 FM001-0553 5-PHASE DRIVER UDX5107-G2-2
82991 DE003-0351 AC SERVO DRIVER NCR-DCD0A2B-401E
88783 DQ001-1848 INPUT UNIT A1SX42
106365 FM001-0549 DEGITAL PANEL METER AP-301-13-D
9249 AE003-0021 DEVICENET COMMUNICATIONS UNIT 3G3MV-PDRT2
92431 190203-161 RA HIGH VOLTAGE RA HIGH VOLTAGE
92477 190204-034 TARGET HALF MIRROR TARGET HALF MIRROR
88773 DQ001-1838 INPUT UNIT A1SX42
106381 FM001-0565 TEMPERATURE CONTROLLER CB103 FD05-V*APD-NN/A ZK-1056 Z-1027
82989 DE003-0349 AC SERVO DRIVER MADDT1207
92494 190204-051 AUTO FOCUS UNIT AUTO FOCUS UNIT
92492 190204-049 Y BALL SCREW Y BALL SCREW
92487 190204-044 ALCP unit (L8) ALCP UNIT
92485 190204-042 Y STAGE BAR MIRROR Y STAGE BAR MIRROR
92489 190204-046 INTERFEROMETER Y UNIT INTERFEROMETER Y UNIT
88784 DQ001-1849 INPUT UNIT A1SX42
10672 BR9911P-007 2軸位置決ユニット E-20GM
8297 AC001-0040 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-100B
92427 190203-157 RAT UNIT RAT UNIT
82977 DE003-0337 AC SERVO DRIVER MSD043A1XX
92484 190204-041 反射率モニタ用ハーフミラー 反射率モニタ用ハーフミラー
92428 190203-158 STEPPING MOTOR 103H7523-7021
106367 FM001-0551 DEGITAL PANEL METER AP-301-13-D
92482 190204-039 積算露光量センサ 積算露光量センサ
82978 DE003-0338 AC SERVO DRIVER MSD021A2X
61936 BV001-06064 CPU UNIT C1000HF-CPUA1-V1
10670 BR9911P-005 2軸位置決ユニット E-20GM
92479 190204-036 BLIND(L7) BLIND(L7)
88776 DQ001-1841 INPUT UNIT A1SX42
106370 FM001-0554 5-PHASE DRIVER UDX5114-G4-2
88769 DQ001-1834 INPUT UNIT A1SX42
61939 BV001-06067 CPU UNIT C1000HF-CPUA1-V1
82988 DE003-0348 AC SERVO DRIVER MCDDT3520P
92432 190203-162 MAIN FM MARK MAIN FM MARK
106427 FM001-0611 TEMPERATURE CONTROLLER CB103 FD05-V*APD-NN/A ZK-1056 Z-1027
88779 DQ001-1844 INPUT UNIT A1SX42
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