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22306 P9009-0037 B7A INTERFACE UNIT C200H-B7AI1
74552 CN001-0362 BOWL FEEDER CONTROLLER HF-3
74556 CN001-0366 BOWL FEEDER CONTROLLER HF-3
74611 CN001-0421 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B
74582 CN001-0392 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B(GA)
22317 P9010-0006 OUTPUT UNIT A1SY41
22237 P9006-0012 OUTPUT UNIT C200H-OD219
22235 P9006-0010 INPUT UNIT C200H-ID215
22324 P9010-0013 非常停止SW HW-G10
74583 CN001-0393 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B(GA)
22285 P9009-0013 DC POWER SUPPLY R150-24-N
22267 P9007-0010 LM SYSTEM DRIVER LSDM6-P GLM20 TYPE
74586 CN001-0396 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B(GA)
22305 P9009-0034 OUTPUT UNIT C200H-OD219
22278 P9009-0004 SERVO CONTROL UNIT HA-655-2-200
74581 CN001-0391 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-40B(GA)
74615 CN001-0425 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B
74564 CN001-0374 SERVO DRIVER EZS-PD-42XL-A-D-B
22287 B0246-35 VAC PAD 4K110-210AN
11538 BS0044P-010 UIFC CONN BRD 1A81-010400-1
22246 B0246-31 VAC PAD 4K110-210AN
22257 B0246-32 VAC PAD 4K110-210AN
22239 P9006-0014 BASE UNIT C200HW-BC051
22290 P9009-0018 電位センサー 533C
22244 B0246-29 VAC PAD 4K110-210AN
11543 BS0044P-015 UIFC CONN BRD 1A81-010400-1
2230 032-137 CPU UNIT A2SCPU
69562 BV002-0215 CX-unit (L8 Reticle loader) CX-UNIT
22272 B0246-34 VAC PAD 4K110-210AN
74554 CN001-0364 BOWL FEEDER CONTROLLER HF-3
69560 BV002-0213 Auto focus-unit (L8) AUTO FOCUS-UNIT
22355 P9011-0022 OUTPUT UNIT A1SY40
22269 P9007-0012 PENDANT CONTROL SB-700
69588 BV002-0241 Reticle alignment Y-halving unit (L8) RETICLE ALIGNMENT Y-HALVING UNIT
22316 P9010-0005 INPUT UNIT A1SX42
22298 P9009-0027 POWER SUPPLY UNIT C200HW-PA204
22233 P9006-0008 I/O UNIT C200H-MD215
7462 AA001-0050 DIGITAL TEMPERATURE INDICATOR SK-1100
22286 P9009-0014 STEPPING MOTOR PK566-NA
2225 032-131 INPUT UNIT A1SX41
22279 P9009-0005 DC POWER SUPPLY S8VM-10024CD
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