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Particle inspection

パーティクル検査装置:

商品コード
1571203675-619298
メーカー
トプコン
型式
WM-7S
年式
2011
ワークサイズ
6インチ/8インチ
サイズ
仕様
最高検出感度は0.079μm~ (Bareウェーハ測定時)
SOLD OUT