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新規 海外製MEMS製造装置/
研究開発装置の販売及びサポート

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海外の先端システムとお客様のニーズをつなぐエンジニアリング技術

海外の先端システムと
お客様のニーズをつなぐ
エンジニアリング技術

欧米諸国で評価の高い、先端デバイス関連装置を国内のお客様に供給するにあたり、それを提供するエンジニアを育てることを大切にしています。
また装置の輸入販売だけではなく、デモ機による性能評価から立ち上げ後のアフターサポートはもちろん、生産性向上のための改造まで対応します。
それが、ハイテック・システムズの先端システム事業です。

Veeco

ALD

アメリカ Veeco社のALD部門 (旧CambridgeNanoTech社)は、世界中の研究開発機関及び製造現場に550台以上のALD(原子層堆積)装置を供給しており、それらの装置を使用して発表された公的な文献は2000以上にもなります。これからもALD装置のリーディングサプライヤーとして、蓄積された技術力と新しい開発力でALD装置を供給し続けます。

PLASMIONIQUE

Customized, R&D

カナダ PLASMIONIQUE社は研究開発及び小規模生産で使用する為に、カスタマイズされたプラズマ、レーザー及び真空をベースとした装置を設計・販売しております。これらの装置は成膜、イオン注入やエッチング及び高度な材料を合成する為にさまざまな手法にて設計・販売しております。国内外の大学や研究所、一般企業様と共同研究開発により新しい装置とプロセスを開発する事が出来ます。

scia systems

Ion Beam

ドイツ scia systems社は高性能のイオンビームとプラズマ技術に基づいた最先端且つ高精度のコーティング、エッチング、プラズマクリーニング装置を提供しております。 それそれの装置はモジュール式に設計され、開発用及び量産用装置用として構成されております。 また、シリコンベースのウエハ基板やキャリア上の小サンプルの基板まで対応しております。

NEOCERA

PLD, PED, 故障解析

アメリカ NEOCERA社は薄膜形成のためのPLD/PED装置及び超電導磁気センサーを搭載した半導体デバイスの故障解析装置を提供しております。

ANNEALSYS

RTP

フランス ANNEALSYS社はワールドワイドの研究所及び企業向けに高性能・高品質のさまざまな研究開発及び量産装置用の高速熱処理(RTP)装置と独自のダイレクトリキッドインジェクション方式による液体材料気化器と最適化されたチャンバーとを使用したDLI-CVD/DLI-ALD装置を提供しております。

JIACO

パッケージ開封

オランダ JIACO社はIC等デバイスの故障解析のためのパッケージ開封装置を提供します。独自の大気圧下でのO2(酸素)プラズマ技術(MIP:Microwave Induced Plasmaマイクロ波誘導プラズマ) は高選択性であり、既存のデバイス状態に物理的・電気的なダメージを与えることなくパッケージの除去が可能で、 一つの装置内で洗浄・乾燥も含めた一連のプロセスを自動で行います。

SENTECH

ICP-RIE, ICPECVD

ドイツ SENTECH Instruments社は、1990年に設立され、クオリティーの高いプラズマエッチングシステム、PECVD、ALD、薄膜測定装置を研究開発及び製造現場にワールドワイドで販売する装置メーカーです。
納入後も高いアプリケーション能力でサポートしております。

CeeVeeTech

プリカーサー供給濃度制御

アメリカ CeeVeeTech社が開発したTemperature compensatorは、CVD、MOCVD、ALDの全ての液体や固体のソースに直接挿入された精度の高い温度センサーで、測定された温度からガス流量や圧力信号を補正してプリカーサの供給量を一定にします。これにより、歩留まり向上、コスト削減、ソース寿命の延長、安全性の向上に貢献します。

3つの特徴

充実した国内・海外でのデモサービス
充実した国内・海外メーカーサポート体制
経験豊富な国内エンジニア

ビジネスフロー

ビジネスフロー
ビジネスフロー

装置導入後のアフターフォロー

国内エンジニアによるサポート

拠点:本社(新横浜)、大阪

海外メーカーエンジニアとの連携サポート

リモートサポート