半導体製造装置や液晶製造装置の中古部品、中古装置の販売や買い取り、ALD装置販売はハイテック・システムズにお任せ

SENTECH

SENTECH

ドイツ SENTECH Instruments社は、1990年に設立され、クオリティーの高いプラズマエッチングシステム、PECVD、ALD、薄膜測定装置を研究開発及び製造現場にワールドワイドで販売する装置メーカーです。
納入後も高いアプリケーション能力でサポートしております。

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ICP-RIE SI 500

ICP-RIE SI 500

特長

  • 独自のPTSA200ICPソースによる 10 12 [イオン/cm 3]の高いプラズマ密度により高エッチレートを実現。
  • ICPパワーによるイオン密度の制御
  • バイアスパワーによるイオンエネルギーの制御
  • ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供給の最適化
  • 低ダメージエッチング
  • 高選択性エッチング

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ICPECVD SI 500 D

ICPECVD SI 500 D

特長

  • 独自のPTSA200ICPソースによる 10 12 [イオン/cm 3]の高いプラズマ密度により
    • -低温成膜
    • -低ダメージ
    • -高コンフォマリティーを実現。
  • ICPパワーによるイオン密度の制御
  • オプションのバイアスパワーによるイオンエネルギーの制御
  • リアクター圧力、分離されたガス供給ラインとICPソースと基板電極間の間隔調整によるプロセスの最適化

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レーザーエンドポイントモニター SLI 670

レーザーエンドポイントモニター SLI 670
レーザー干渉計

SENTECH社のプラズマ装置用エンドポイントモニターは、プラズマ装置の上部の窓からレーザービームを照射しサンプルからの反射光を測定し膜厚を測定。
透過膜のエッチングや成膜のIn-situでの膜厚モニターに最適。

特長

  • 波長:670/980nm
  • スポットサイズ:100μm
  • モーター駆動ステージ
  • 反射率、干渉モード

クラスターツール 3 ICP + 2 cassette モジュール

クラスターツール 3 ICP + 2 cassette モジュール

特長

搭載可能モジュール
  • SI 500-1M ICP-RIEモジュール
  • SI 500 D-1M ICPECVDモジュール
  • SI 500 RIE-1M RIEモジュール
  • SI 500 PPD-1M PECVDモジュール
  • SI ALD-1M ALDモジュール
搬送チャンバー
  • 3ポート
  • 4ポート
  • 6ポート

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提携企業一覧

Veeco
PLASMIONIQUE
scia systems
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JIACO
SENTECH
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