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| 2022.06.09 | 露光装置（ALIGNER） |
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| 2022.06.09 | 露光装置（ALIGNER） |
| 2021.06.11 | ﾊﾞｰｺｰﾄﾞﾌﾟﾘﾝﾀｰ |
| 2021.06.03 | 光学顕微鏡 |
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表面検査装置：
- 商品コード
- 1505287588-714729
- メーカー名
- オリンパス
- 型式
- AL100
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段差計：
- 商品コード
- 1556166550-792101
- メーカー名
- KLA-Tencor
- 型式
- P-20H
-
膜厚計：
- 商品コード
- 1567673911-805341
- メーカー名
- 大日本スクリーン
- 型式
- Ramda Ace
-
C-V測定器：
- 商品コード
- 1567674052-657626
- メーカー名
- 大日本スクリーン
- 型式
- CV-8000-L
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パーティクル検査装置：
- 商品コード
- 1571203675-619298
- メーカー名
- トプコン
- 型式
- WM-7S
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FIB SEM：
- 商品コード
- 1587091621-043291
- メーカー名
- JEOL
- 型式
- JFS-9855
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レーザー顕微鏡：
- 商品コード
- 1587344078-244580
- メーカー名
- オリンパス
- 型式
- OLS4000
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膜厚計：
- 商品コード
- 1587349134-136238
- メーカー名
- DNS
- 型式
- VL-M8100
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表面粗さ測定器：
- 商品コード
- 1587350249-289179
- メーカー名
- 小坂研究所
- 型式
- ET4000A
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パーティクル検査装置：
- 商品コード
- 1587350733-486114
- メーカー名
- トプコン
- 型式
- WM-7