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| 2022.06.09 | 露光装置（ALIGNER） |
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| 2022.06.09 | 露光装置（ALIGNER） |
| 2021.06.11 | 減圧注入装置 |
| 2021.06.11 | 液晶脱泡装置 |
| 2021.06.11 | 段積み治具式ﾎｯﾄﾌﾟﾚｽ装置 |
| 2021.06.11 | ﾊﾞｰｺｰﾄﾞﾌﾟﾘﾝﾀｰ |
| 2021.06.03 | 光学顕微鏡 |
| 2021.06.03 | ﾗﾋﾞﾝｸﾞ装置 |
| 2021.06.03 | 両面ﾄﾞﾗｲｸﾘｰﾅｰ |
| 2021.06.03 | 配向膜印刷装置 |
| 2021.06.03 | 基板洗浄装置 |
| 2021.03.30 | CMP（化学的機械研磨）： |
| 2020.12.25 | コーター・デベロッパー： |
| 2020.11.04 | 洗浄装置 |
| 2020.11.04 | 空気槽 |
| 2020.11.04 | コンプレッサー |
| 2020.11.02 | SEM式欠陥検査機： |
| 2020.11.02 | スクラバー： |
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表面検査装置：
- 商品コード
- 1505287588-714729
- メーカー名
- オリンパス
- 型式
- AL100
-
段差計：
- 商品コード
- 1505287782-526405
- メーカー名
- KLA Tencor
- 型式
- Alpha step-200
-
段差計：
- 商品コード
- 1556166550-792101
- メーカー名
- KLA-Tencor
- 型式
- P-20H
-
膜厚計：
- 商品コード
- 1567673911-805341
- メーカー名
- 大日本スクリーン
- 型式
- Ramda Ace
-
C-V測定器：
- 商品コード
- 1567674052-657626
- メーカー名
- 大日本スクリーン
- 型式
- CV-8000-L
-
蛍光X線分析装置：
- 商品コード
- 1567674290-998779
- メーカー名
- リガク
- 型式
- 3700
-
パーティクル検査装置：
- 商品コード
- 1571203675-619298
- メーカー名
- トプコン
- 型式
- WM-7S
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SEM式欠陥検査機：
- 商品コード
- 1586936466-984488
- メーカー名
- HMI
- 型式
- eScan310
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FIB SEM：
- 商品コード
- 1587091621-043291
- メーカー名
- JEOL
- 型式
- JFS-9855
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レーザー顕微鏡：
- 商品コード
- 1587344078-244580
- メーカー名
- オリンパス
- 型式
- OLS4000