米 SHELLBACK Semiconductor Technologyは高スループットかつ設置面積の小さいバッチスプレー式洗浄装置を販売しているメーカーです。
パワーデバイスやフォトニクス・LED、MEMSやセンサーといった新興市場及び既存市場を支える洗浄技術を提供しております。
SEMITOOL バッチスプレー式洗浄装置 TORRENT
多様な機能を持つハイエンドの全自動ツインスピンドルダイシング装置です。
特長
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最大300mm径ウエハ基板対応
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1バッチ辺りウエハ25枚もしくは50枚までセット可能
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均一かつ再現性の高いスプレー技術によりDIWおよび薬品のコストを低減
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シングルチャンバーもしくはダブルチャンバーを選択可能
アプリケーション
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RCA/ピラニア洗浄
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フラックス除去
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DRIE後のポリマー除去
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金属/UBM/シリコン/酸化物エッチング
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レジスト剥離
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フォトレジスト剥離
バッチスプレー式洗浄装置 MERCURY+
高スループットかつ低運用コスト、簡単にウエハサイズを変更可能な
バッチスプレー式洗浄装置です。
特長
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100mm～200mm径ウエハ基板対応
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基板サイズにより1バッチ辺りウエハ100枚～200枚までセット可能
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高スループットかつ低運用コスト
アプリケーション
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SPM/dHF/SC1/SC2洗浄
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エッチング後/アッシング後洗浄
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フォトレジスト剥離
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金属エッチング
提携企業一覧
