米 SHELLBACK Semiconductor Technologyは高スループットかつ設置面積の小さいバッチスプレー式洗浄装置を販売しているメーカーです。
パワーデバイスやフォトニクス・LED、MEMSやセンサーといった新興市場及び既存市場を支える洗浄技術を提供しております。
バッチスプレー式洗浄装置 MERCURY+
高スループットかつ低運用コスト、簡単にウエハサイズを変更可能な
バッチスプレー式洗浄装置です。
特長
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100mm～200mm径ウエハ基板対応
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基板サイズにより1バッチ辺りウエハ100枚～200枚までセット可能
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高スループットかつ低運用コスト
アプリケーション
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SPM/dHF/SC1/SC2洗浄
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エッチング後/アッシング後洗浄
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フォトレジスト剥離
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金属エッチング
提携企業一覧
